大翘曲度晶圆
上海奥麦达微基于自研工艺成功开发出大翘曲度硅片产品,
目前我们可以提供 12寸BOW值 最大3mm的翘曲晶圆 ,同步目前正在开大更大翘曲度的晶圆产品15mm,满足市场对翘曲晶圆的多样化需求 。
目前关于BOW值精度,可以达到5%, 同时可以精准调控BOW值。
目前已积累大量数据 ,如果您有需求,请联系获取更多数据。
12inch BOW 3mm Wrapage Wafer 翘曲晶圆




12inch 翘曲晶圆

12inch 翘曲晶圆 BOW:750um

12inch 翘曲晶圆 BOW:1000um

测试数据:
12inch BOW -558um

12inch BOW -333um

12inch BOW -217um

12inch BOW 522um

12inch BOW 391um

12inch BOW 214um

8inch 50um

