上海奥麦达微电子有限公司

专业高效
微纳加工公司

大翘曲度晶圆

上海奥麦达微基于自研工艺成功开发出大翘曲度硅片产品,

目前我们可以提供 12寸BOW值 最大3mm的翘曲晶圆 ,同步目前正在开大更大翘曲度的晶圆产品15mm,满足市场对翘曲晶圆的多样化需求 。

目前关于BOW值精度,可以达到5%, 同时可以精准调控BOW值。

目前已积累大量数据 ,如果您有需求,请联系获取更多数据。


12inch BOW 3mm Wrapage Wafer 翘曲晶圆

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12inch 翘曲晶圆

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 12inch 翘曲晶圆 BOW:750um

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12inch 翘曲晶圆 BOW:1000um

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测试数据:

12inch BOW -558um

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12inch BOW -333um

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12inch BOW -217um

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12inch BOW  522um

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12inch BOW  391um

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12inch BOW  214um

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8inch 50um

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关于我们

OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。

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