衍射光栅加工
上海奥麦达微提供 衍射光栅加工 ，我们可以提供多种类型的衍射光栅加工
依照线宽分类
150nm以内线宽衍射光栅加工：EBL-电子束直写光刻/纳米压印
说明：如果只做一个样品，可以电子束直写，如果需要多个样品，可以先电子束直写做母版，然后用母版去做纳米压印，然后刻蚀得到多个样品
总价格和曝光面积有关系，曝光面积越大价格越贵，举例：25*16，差不多要 29万，1*1要 2万多，4*4要3万多
180nm-3um线宽衍射光栅加工：DUV-6寸步进式光刻加工
说明：一次性可以得到一个6寸晶圆，可以切成25个20*20的单颗芯片，具有较高的性价比
3um及以上线宽：接触式光刻加工
业务模式介绍
加工模式 1：GDS TO DIE（经费充足情况下）
在此模式加工，我司全程负责加工，客户只需要提供版图,我司收到客户版图后，进行评审和指标确认，最终出具验收标准，我司依照客户的需求进行全流程的加工，预付款，制版，涂胶曝光，显影，刻蚀，切割，打包，出货，客户验收，结算尾款。
客户权益的保证：最终的交付以验收标准作为客户权益的保证手段。
预计成本：以产出 1 片 6 寸 200nm 线宽结构晶圆为准，预计收费 6.5 万 1 片 ，8 万 2 片 ，
9.5 万 3 片
加工周期：3-4 周
加工模式 2：GDS TO Pattern（预算有限）
在此模式，我司仅仅进行制版，曝光，显影的加工，客户可以获得带有光刻胶的图案，这种模式是考虑到 1.绝大多数高校拥有刻蚀机，可以完成曝光后的加工艺部分 2.这种模式可以节约成本。
客户权益的保证：最终的交付以验收标准作为客户权益的保证手段。
预计成本：新结构，分实验片和正式片工艺
1. 实验片验证
客户提供 1 片基片，我们做 FEM（曝光切割 SEM 等），确定该膜层结构下的精确曝光剂量，总流程收费 9000。
2. 正式片加工
按照实验片验证的参数进行光刻，3 片 8500，4 片 9800 元，如与实验结果有明显差异，全部免费 rework
加工周期：1 周
案例展示
