MBE分子束外延

上海奥麦达微提供分子束外延服务,我们的设备型号为DCA P600,我们可以在2寸 3寸 最大4寸的衬底上外延In,Al,Ga,As,P上述元素组合的外延层产品。

支持尺寸:2寸 3寸 4寸 

支持元素组合:In铟,Al铝,Ga镓,As砷,P磷

膜厚精度:6%-10%

设备型号:DCA P600

Astrum-P600-with-automated-transfer-system