一、柱面镜的CGH测量方法
在高端光学系统中，柱面镜并不少见。线扫描成像、激光整形、高功率激光系统中，柱面镜往往承担着“只在一个方向聚焦或整形”的关键角色
随着系统性能不断提升，柱面镜也在同步发生变化——尺寸更大、面形一致性要求更高、允许误差更小。而检测，正逐渐成为这类光学元件制造链中的核心环节。针对柱面镜的几何特性，CGH 可以在干涉仪中引入与柱面相匹配的一维相位补偿，使原本复杂的波前差被有效抵消。最终呈现出来的，是规则、清晰、可稳定解算的干涉条纹。
通过 CGH，柱面镜的检测从“依赖经验和调试”，转变为工程上可重复、可量化的测量过程。
二、柱面镜的拼接测量方法
当柱面镜变“大”，拼接测量成为必然选择。在实际项目中，柱面镜的尺寸往往已经超出了单次干涉测量的覆盖范围。无论是干涉仪口径，还是 CGH 的加工和使用条件，都存在现实限制。这时，拼接测量成为更合理的工程选择。其基本思路是将大尺寸柱面划分为多个子区域，逐段进行测量，再通过重叠区域进行数据拼接，还原整体面形。
柱面拼接示意图
被测柱面子孔径划分
CGH + 拼接：工程上更成熟的组合方案在合理的拼接策略和算法支持下，这种方案可以在精度、灵活性和成本之间取得良好平衡，已经被越来越多高端应用所采用。
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关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。
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来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。
