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cgh计算全息——非球面检测为什么越来越离不开CGH?

非球面检测为什么越来越离不开 CGH?这几年,非球面几乎成了高端光学系统的“标配”。手机影像、车载镜头、激光雷达、精密仪器——性能越卷,非球面越多。但在制造端,真正让人头疼的,往往不是“能不能做出来”,而是——怎么高精度地把它“测清楚”?在众多检测方案中,CGH 正在成为行业里越来越常见、也越来越关键的一项技术。

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非球面,为什么难测?传统干涉检测对球面非常友好。一个标准参考镜,就能得到清晰、稳定的干涉条纹。但非球面一上来,情况立刻变了:反射波前高度复杂与理想参考波前严重不匹配干涉条纹密集、扭曲,几乎无法解析简单说一句话就是:参考波前跟不上非球面的“复杂度”。这也是为什么,很多高性能非球面并不是“测不准”,而是“根本没法直接测”。

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非球面干涉条纹示意图(条纹明显“炸裂”)

CGH 是怎么解决这个问题的?CGHComputer Generated Hologram,计算机生成全息图),本质上是一块通过精密计算和微纳加工得到的衍射光学元件。在非球面检测中,它只做一件事:提前“造”一个和非球面完全匹配的参考波前。当光经过 CGH 后,不再是简单的球面波,而是被“定制”成与被测非球面相对应的复杂波前。结果是:非球面在干涉仪里“看起来”像一个普通球面干涉条纹变得稀疏、规则、可解算一句话总结:CGH 把“不可测的复杂问题”,变成了“可控的标准检测”。

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CGH 工作原理示意图:球面波 → CGH → 复杂参考波前


CGH 为什么这几年越来越重要?CGH 并不是新技术,但它真正“火起来”,和三个趋势密切相关:第一,非球面和自由曲面越来越多系统性能越高,面形就越复杂,传统检测方案越来越吃力。第二,加工精度上来了,检测不能拖后腿做得出来 ≠ 测得清楚,检测已经成为制造链的关键瓶颈。第三,计算和加工能力成熟了高精度计算、光刻和激光直写,让 CGH 从“实验室方案”变成了工程工具。在高端光学制造中,CGH 正在从“特殊方案”,逐渐变成默认选项之一。

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一片非球面的 CGH 检测流程通常是这样的:根据非球面的设计模型,计算理论波前与理想参考波前对比,得到光程差将光程差编码为 CGH 的相位结构加工 CGH,并安装到干涉仪中进行测量,解算非球面面形误差整个过程的核心目标只有一个:让干涉仪“看得懂”非球面。

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关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。

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来源:OMeda

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