用于压电器件
单晶PZT薄膜表现出极强的压电/反压电效应，压电系数范围从d31达到180 pm/V，d33达到400 pm/V。
该材料具有极高的稳定性，耐热温度可达600 ºC，远超现有的压电功能陶瓷。
1-2 μm厚的单晶PZT薄膜生长在硅基板上，兼容半导体工艺，适用于MEMS芯片的大规模生产
比较：
应用：电光调制器、光开关、光学陀螺仪、声光器件、光学MEMS
关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话：+86 188 233 40140 邮箱：jing.chen@omeda-optics.com
来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。
