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用于电光调制器应用的PZT薄膜晶圆(PZTOI)

用于电光调制器应用

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PZTOI(铅锆钛酸盐绝缘体上薄膜)晶圆是一种具有超强电光效应的材料,其电光系数是LiNbO3的6倍。同时,PZT具有非线性效应、声光效应和压电效应


以下是 PZT(铅锆钛酸盐)BTO(钛酸钡)LN(铌酸锂)SI(硅) 的比较,基于它们的属性和常见应用:

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  • 表格中的所有“电光系数”都是在电光调制器中测量的值。

  • 调制器驱动电压Vπ、功耗P与电光系数r之间的关系:Vπ ∝ 1/r,P ∝ 1/r²。

  • PZT具有较大的光透过范围,可以用于AR/VR和可见光雷达,而硅则无法实现这一点。


*规格

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关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。

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来源:OMeda

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OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。

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