文章名:Okmetic Participates in ARCTIC EU Project Consortium Developing Quantum Hardware单位:Okmetic+About Okmetic+News & insights+Okmetic Participates in ARCTIC EU ProjectaARCTIC(“创新计算的低温技术先进研究”)是一个欧洲项目联盟,致力于开发用于控制和连接扩展量子计算机及其他低温微系统的组件和系统。该项目推进了低温应用的半导体技术,增强了欧洲低温微系统生态系统,并支持低温微电子学的发展。
该项目由IMEC协调,包含来自11个国家的36个合作伙伴,涵盖工业界、学术界及领先的研究技术组织(RTOs)。该为期三年的项目将于2027年结束,得到欧盟的资助,芬兰还获得了来自Business Finland的额外支持。
硅晶圆在量子计算中的角色
硅晶圆在量子技术中发挥着核心作用,提供了一种成熟、可扩展的平台,用于构建和集成量子比特(qubits)以及量子计算所需的控制电子设备。超导量子比特、自旋量子比特和控制电子设备是通过成熟的半导体工艺制造的,充分利用了微电子产业数十年的发展成果。
硅晶圆的可获得性、稳定性及与先进微加工技术的兼容性,使其成为将量子设备从实验室原型扩展到大规模、可制造的量子计算机的理想选择。
专用硅晶圆用于低温微电子学
ARCTIC项目的关键研究领域之一是通过开发低损耗的硅基板和薄膜,扩展微电子设备和电路在低温操作中的适用性。量子设备通常需要高电阻硅晶圆,以最小化微波损耗,从而提高量子比特的相干性和控制电路的性能。
SOI晶圆:--220nm薄膜/ 3um厚膜-3umSIO2-725um薄膜硅光:常见厚度220nmSi-3umSiO2-675umSi(有库存),可以定做其他厚度,同时也有单高阻SOI晶圆用于异质集成(异质集成PD),双高阻SOI晶圆用于CPO
厚膜硅光:常见厚度3000nmSi-3umSiO2-675umSi(有库存),该工艺为芬兰VTT公司提出,与OKEMTIC公司合作开发,目前我单位在6寸上可以达到与OKemetic同样器件层厚度精度+-100nm

ALOOI晶圆;--氧化铝薄膜晶圆,键合工艺和镀膜工艺
TAOOI晶圆--氧化钽薄膜晶圆,镀膜工艺
SINOI晶圆--超低损耗氮化硅薄膜晶圆,160nm-180nm-200nm-300nm-350nm-400nm-800nm
SICOI晶圆;新型量子光学平台500nm-700nm-1um
8寸LTOI晶圆批量供应;铌酸锂的有力的竞争对手,薄膜钽酸锂晶300600
8寸LNOI晶圆;8寸LNOI助力更大规模薄膜铌酸锂产品量产
流片: 6寸 氮化硅 铌酸锂 硅光 超高性价比流片, 1个BLOCK的价格买一整片晶圆
划重点--全国产-超高性价比-6 寸硅光-氮化硅-铌酸锂流片白皮书
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Okmetic合作伙伴开发未来低温量子设备的可靠硅平台
Okmetic与项目合作伙伴Bluefors和VTT合作,开发用于低温环境的专用硅晶圆,并与Incize合作表征其低温微波损耗特性。这些努力旨在提供未来低温量子设备的可靠硅平台。
项目成果推动下一代技术
ARCTIC项目的预期成果是解决现有问题的重要推动力,能够为计算化学、生物科学和数据保护与网络安全等领域提供所需的技术,满足高度需求。
通过参与开发低温和量子应用专用的硅晶圆,Okmetic可能有助于推动下一代量子计算技术的规模化、集成化和发展。
自1960年代以来,芬兰在低温物理学领域的历史为蓬勃发展的量子生态系统奠定了基础,该生态系统包括众多公司、初创企业和研究技术组织(RTOs)。ARCTIC项目的芬兰合作伙伴包括Okmetic、Bluefors、VTT、AMAT(Picosun)、IQM、Semiqon、Quantrolox和坦佩雷大学,涵盖了从量子硬件到仿真、基础设施和材料等多个领域。