#钛酸钡晶圆 #薄膜钛酸钡 #钛酸钡电光调制器 

美国德克萨斯州奥斯汀市的La Luce Cristallina公推出了其新的200mm（8英寸）晶体玻璃钛酸钡（BaTiO3）衬底，并开设了一个扩展能力的工厂，用于晶圆规模的制造，以支持来自数据中心、电信、传感、计算和集成光子市场的不断增长的需求。该工厂的设备由芬兰制造商DCA Instruments提供，预计将通过安全的美国本土供应链实现与全球合作伙伴和客户的更紧密合作。La Luce Cristallina目前正在接受其200mm晶圆的订单，计划在2026年第一季度初交货。

#2：a向 bto外延片

2寸 外延 a-向 bto（300nm或者500nm，或者定制）-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)

#3:C向 bto外延片

2寸 外延 c-向 bto（150nm或者300nm，或者定制）-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)

#离子注入铒代工

#6寸DUV步进式光刻代工，最小线宽180nm，超高性价比，可以只曝光

#快速氮化硅硅光铌酸锂流片 #高性价比 #低成本

#提供8寸 8umSiO2热氧片，6寸15um热氧片 10um热氧片 8寸10um热氧片

室温低损伤@GCIB抛光代工@束斑小（4-5mm）更均匀

#降低硬质材料化合物晶圆等绝大多数材料的表面粗糙度，比如金刚石 ，磷化铟，砷化镓，碳化硅

#提高复合衬底和镀膜膜层的器件层膜厚均匀性，

比如SOI LNOI  LTOI SICOI 等 SMARTCUT得到的薄膜 

或者镀膜所得到的膜层 ，比如镀了一层氮化硅，但是由于是cvd镀膜所得到的，表面的膜厚精度很差，粗糙度很差，可以通过粗糙度初步降低粗糙度，然后通过GCIB团簇离子束抛光来修整整面的膜厚均匀性 到0.5%以下举例：

未经过Trimming 工艺的 6寸LN/LTOI晶圆 数据：

Range:100-200A

经过Trimming 工艺的 6寸LN/LTOI晶圆 数据：

Range:60A以内

ALOOI晶圆；--氧化铝薄膜晶圆，键合工艺和镀膜工艺

TAOOI晶圆--氧化钽薄膜晶圆，镀膜工艺

SINOI晶圆--超低损耗氮化硅薄膜晶圆，210nm-300nm-400nm-800nm

SICOI晶圆；新型量子光学平台500nm-700nm-1um

8寸LTOI晶圆批量供应；铌酸锂的有力的竞争对手，薄膜钽酸锂晶300600

6寸X切Z切掺镁薄膜铌酸锂晶圆 ，厚膜 3um 5um 和 薄膜 100-600nm

8寸LNOI晶圆;8寸LNOI助力更大规模薄膜铌酸锂产品量产

LN/LT-SOI/Si/SIN  W2W&D2W异质集成

流片： 6寸 氮化硅 铌酸锂 硅光 超高性价比流片， 1个BLOCK的价格买一整片晶圆

划重点--全国产-超高性价比-6 寸硅光-氮化硅-铌酸锂流片白皮书

我们为客户提供晶圆（硅晶圆，玻璃晶圆，SOI晶圆，GaAs，蓝宝石，碳化硅（导电，非绝缘），Ga2O3,金刚石，GaN（外延片/衬底）），镀膜（PVD,cvd,Ald，PLD）和材料（Au Cu Ag Pt Al Cr Ti Ni Sio2 Tio2 Ti3O5，Ta2O5,ZrO2,TiN，ALN,ZnO,HfO2。。更多材料），键合（石英石英键合，蓝宝石蓝宝石键合）光刻，高精度掩模版，外延，掺杂,电子束光刻等产品及加工服务(请找小编领取我们晶圆标品库存列表，为您的科学实验加速。

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随着全球光学互联市场预计在2030年达到345.4亿美元，年均复合增长率（CAGR）为14.1%，La Luce Cristallina表示，其200mm BaTiO3平台在AI和数据中心光子学领域到达了一个关键的拐点。据称，200mm晶圆提供比硅光子调制器更快的速度、更小的尺寸和更低的功耗，同时解决了替代材料集成的挑战。

La Luce Cristallina的解决方案提供了一种高性能、兼容铸造厂的电光平台，支持AI工作负载和高密度光学互连的容量需求。该公司补充说，BaTiO3比如钽酸锂等材料提供更长的使用寿命和多个代际的设备创新（超过10年），帮助客户为当前和未来的光子学需求做好准备，同时确保其投资更快速和更高的回报。这些衬底还支持新兴的量子计算、航天和国防应用。

La Luce Cristallina利用射频溅射技术实现可扩展的制造，能够每天生产多个200mm晶圆，远远超出其他方法在硅基上生产BaTiO3的制造量。该公司保持着安全的供应链，利用美国本土硅材料和经过认证的国际合作伙伴提供硅绝缘体（SOI）晶圆，确保可靠的采购并降低海外制造商的风险。La Luce Cristallina表示，其解决方案能够与硅制造工艺进行顺利集成，避免了与钽酸锂等材料相关的化学污染问题。据称，200mm晶圆比电光聚合物提供更好的可靠性，即使在高温、高频操作、辐射和其他恶劣条件下，也能保持最佳性能。

“La Luce Cristallina的新设施代表了我们在建立安全的美国本土BaTiO3供应链方面的持续进展，帮助我们服务于电信、数据中心和国防领域的当前和新兴市场，”首席执行官兼联合创始人Alex Demkov表示。“我们的新200mm晶圆帮助我们的客户通过解决竞争材料的速度、尺寸和生产限制，释放创新，标志着几十年的学术研究转化为可扩展、实用的解决方案。”

La Luce Cristallina指出，其BaTiO3衬底得到了大学研究人员的支持，得克萨斯大学奥斯汀分校的科学家报告称，利用该公司光子学材料制造的单片BaTiO3波导具有最低的传播损耗。伊利诺伊大学的研究人员最近在La Luce Cristallina的低损耗BaTiO3-绝缘体集成光子学中实现了超过100万的固有质量因子。该公司目前支持集成光子学、量子计算和其他行业的客户。

联合创始人Agham Posadas（首席技术官）和Alex Demkov（首席执行官）与200mm BaTiO3晶圆合影。

“La Luce Cristallina的解决方案代表了技术的持续进化，旨在支持数据中心互连、AI工作负载以及其他高容量应用场景，”La Luce Cristallina的最新客户Ambature Inc.首席执行官Ron Kelly表示。“该公司近期在制造高质量200mm硅晶圆方面的能力将使Ambature能够大规模生产其量子基础的SQUID传感器和高性能计算处理器，服务于数据中心和AI领域，满足日益增长的军用和商用市场需求。”