6寸X切光学级薄膜钽酸锂晶圆
加工能力：（同时拥有SMARTCUT和减薄抛光工艺，可以加工薄膜和厚膜LTOI产品）
超快交期：4周
顶层膜厚：50nm-500um（SMARTCUT和减薄抛光）
中间层膜厚：50nm-20um（支持超厚热氧层定制加工）
衬底厚度：675um（10K oh*m）
标准规格：300nm/600nm Xcut LT-4.7um SiO2-675um Si
应用：光波导，电光调制器等等
已发表文章单位：哈佛大学，EPFL，浙江大学，南京大学，等高校
同时正在研制 近化学计量比 SLTOI和SLNOI产品，更高的电光和非线性光学系数
Linear electro-optical coefficient ＠λ=632.8nm(pm/V) :r13=8.1 r33=35.5
Nonlinear optical coefficient ＠λ=1064nm(pm/V)：d13= 2.5 d33=30.4
关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验，为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话：+86 188 233 40140 邮箱：jing.chen@omeda-optics.com
来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。 我们将凭借先进的设备、仪器和经验，为您带来可靠性、性能优良的产品和高效的服务。
