上海奥麦达微电子有限公司

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微纳加工公司

LPCVD 低应力氮化硅和近化学计量比氮化硅薄膜

上海奥麦达微提供LPCVD氮化硅镀膜,我们提供的氮化硅 主要分2种类型

#低应力氮化硅薄膜 ,主要应用于氮化硅窗口,mems器件等,具有极低的应力,在很薄的状态的也不会裂

支持:4寸 6寸 8寸

#近化学计量比氮化硅薄膜,主要用于低损耗氮化硅光波导,具有极高的光学质量,制备成光波导后的损耗可以达到0.1db/cm以内 

支持:4寸 6寸 8寸


低应力氮化硅均匀性,应力及折射率数据

800nm低应力氮化硅 

800nm

800nm22


420nm低应力氮化硅

2

2

近化学计量比氮化硅 均匀性 折射率数据 

400nm低损耗氮化硅 

N and K Value of Silicon Nitride of SiNOI wafer

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关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。

中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话:+86 188 233 40140 邮箱:jing.chen@omeda-optics.com

来源:OMeda

关于我们

OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。

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