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上海奥麦达微 提供 CGH计算全息光学元件从设计到加工 装配测量全流程

CGH计算全息可以将激光干涉仪测试波前，“转化为”所需的非球面、自由曲面波前，特别适用于高精度非球面、自由曲面面形检测。

典型产品：系统装调用CGH

CGH的误差主要来源于设计误差、基板透射波前、刻线位置误差等。

一般来说，设计残差可以优化到0.001λ，忽略不计。

采用的高精度基板透射波前一般可达RMS λ/100（可定制最高精度λ/600RMS的基板），

刻线位置误差一般为80nm* ，最高可优于20nm，

采用激光或电子束直写，综合测量精度一般可优于λ/100，最高可达λ/600RMS*（λ=632.8nm，
 * 代表的精度与图案和设备有关）

目前，可生产4-12寸不同系列的CGH（振幅型和位相型，适用于高、低反射率），最小线宽可达600纳米。

柱面CGH，可以将入射的平行光束转换为柱面波，以适应柱面镜的测量，本公司提供各类不同F数的柱面CGH选择，并可定制2寸、3寸、6寸、9寸规格。

特色服务：对于大口径的凸柱、凹柱面，配合柱面镜拼接算法，可实现大于400mm口径的柱面测量。

                                                                                 大口径的凸柱面拼接

典型产品：非球面、自由曲面CGH

非球面、自由曲面CGH，可以将入射的平行光束或球面波转换为所需要的理想波前，以适应被测非球面、自由曲面的精度要求。

为了更好地调整CGH与被测镜，CGH上会制作相对应的对准全息和特征点全息，以方便快速安装好CGH与被测镜，大大减少调整时间。

特色服务：畸变矫正，对于采用CGH测量的光路，不可避免地会产生畸变，当畸变过大时，会严重影响数控抛光的加工精度，提供完整的畸变软件，可快速实现被测面的畸变矫正。

                                                                                         畸变矫正

典型产品：系统装调用CGH

装调困难是传统自由曲面光学系统面临的一大挑战，
因此近年来的一个发展趋势是“多面共体”，
即将系统中的多个复杂曲面以确定的位置关系加工在一个光学元件上，共用一个镜体。
 CGH 可以同步制作出多个功能区域，实现不同功能检验光路的高精度对准，
非常适合于共体多曲面的形位误差同步检验要求。可提供各类共体光学元件CGH测量。

针对离轴四反、五反系统中单片CGH难以同时检测多面镜片的困难，
创新提出了多全息共基准装检方案，实现了多全息片之间的共基准装配，

成功应用于离轴四反、五反系统。可提供各类离轴、同轴多反系统CGH辅助装调方案。

                                                                                      共体光学元件测试

                                                                            离轴三反、五反系统装调 

特色服务：超精密光学检测的全套方案定制

包括平面、柱面、非球面的拼接测量；离轴多反系统装调方案设计；

干涉检测数据畸变矫正（抛物面的无像差点法、CGH检测/传统补偿器检测畸变矫正）；

坐标/轮廓点云数据多参数误差评价等；承接各类高难度高精度光学元件检测。

部分应用案例

                            上海奥麦达微已服务于国内多家研究所、半导体顶尖光学元件制造商、知名院校

如果你有任何测量需求，请找上海奥麦达！高精度CGH设计制造，请找上海奥麦达https://www.omedasemi.com