#划重点 全国产BTO外延片 STO外延片
#2:a向 bto外延片
2寸 外延 a-向 bto(300nm或者500nm,或者定制)-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)
#3:C向 bto外延片
2寸 外延 c-向 bto(150nm或者300nm,或者定制)-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)
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纽约平原(美国)和鲁汶(比利时),2026年1月27日——Veeco Instruments Inc.(纳斯达克:VECO)和imec今天宣布,他们已经共同开发出一种兼容300mm大规模制造的工艺,能够在硅光子学平台上实现钛酸钡(BaTiO₃ 或 BTO)的集成。钛酸钡是一种具有独特电光特性的有前景的材料,可用于高速、低功耗的光调制,广泛应用于高速光收发器、量子计算、光探测与测距(LiDAR)以及增强现实/虚拟现实(AR/VR)等新兴领域。过去,集成钛酸钡的方法在成本目标上存在困难,难以实现高容量制造。Veeco现在交付了其首个基于分子束外延(MBE)的集群系统,这标志着Veeco和imec合作的一个重要里程碑,并展示了他们致力于提升硅光子学平台能力的决心。新的300mm平台旨在实现钛酸钡单晶薄膜在硅上的外延生长,提供固体和混合型分子束外延(MBE)解决方案。通过集成这些替代生长技术,该系统能够以比传统MBE方法更低的成本和更高的可重复性实现BTO-on-Si的沉积。预计到2030年,数据通信领域的光收发器市场将增长至131亿美元,较2024年的29亿美元增长。然而,为了缓解当前硅调制解调器技术的权衡问题,包括高功耗、性能(速度、驱动电压)和面积等,像钛酸钡(BTO)这样的新型电光材料引入硅光子学将变得至关重要。目前,尚没有商业化的、兼容生产的解决方案用于制造这些材料。在Veeco的合作下,imec现在正致力于解决这一行业需求,开发出可以将钛酸钡(BaTiO₃)和钛酸锶(SrTiO₃)等材料集成到300mm硅平台上的大规模解决方案。“在过去的4年中,imec与Veeco合作开发了用于BaTiO₃-on-Si的替代技术,并对材料和电光性能进行了基准测试,以制定推动大规模制造解决方案的战略,”imec科学主任Clement Merckling表示。“随着Veeco首个独特MBE解决方案的推出,我们正在扩展用于异质集成超越硅的电光材料的能力,增强我们为现有和新合作伙伴提供的研发支持,帮助他们探索和原型化下一代硅光子学技术。” imec研究员、光学I/O项目主任Joris Van Campenhout补充道。
Veeco的MBE产品线市场高级总监Matthew Marek评论道:“与imec的合作是MBE行业、数据通信和量子计算生产的一个重要进展。历史上,MBE处理被认为是缓慢且昂贵的;然而,我们与imec合作验证的新硬件开发将MBE带入了一个适合半导体制造厂的成本效益领域。我们对于我们两家公司之间正在开展的工作感到兴奋,尤其是为了展示一个可重复的、高产量的BTO生产工艺。我们预期这一努力将帮助我们实现共同的目标,即突破BTO光调制器,为更美好、更绿色的未来开辟新天地。”
关于Veeco
Veeco(纳斯达克:VECO)是半导体工艺设备的创新制造商。我们的激光退火、离子束、化学气相沉积(CVD)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、单片刻蚀与清洗以及光刻技术在先进半导体器件的制造和封装中发挥着重要作用。Veeco设计的设备旨在优化性能、良率和拥有成本,Veeco在我们服务的市场中处于技术领先地位。欲了解更多关于Veeco系统和服务的信息,请访问www.veeco.com。
在本新闻稿中,任何关于预期或其他未来事件的陈述均属于前瞻性声明,可能受到多种风险和不确定性的影响,这些因素可能导致实际结果与所述内容存在重大差异。这些因素包括在Veeco 2023年12月31日截止的年度报告(表格10-K)中的业务描述和管理层讨论与分析部分,以及我们随后在表格10-Q、表格8-K和新闻稿中讨论的风险。Veeco没有义务更新任何前瞻性声明,以反映该声明发布后的未来事件或情况。关于imec
imec是全球领先的先进半导体技术研究与创新中心。凭借其最先进的研发基础设施和超过6,500名员工的专业知识,imec在半导体和系统规模化、人工智能、硅光子学、连接性和传感领域推动创新。
imec的先进研究推动了多个行业的突破,包括计算、健康、汽车、能源、娱乐信息、工业、农业食品和安全等领域。通过IC-Link,imec为企业提供全方位的芯片解决方案,涵盖从初步概念到大规模生产的每个环节,提供量身定制的解决方案,以满足最先进的设计和生产需求。imec与半导体价值链中的全球领导者以及技术公司、初创企业、学术界和全球范围内的研究机构合作。imec总部位于比利时鲁汶,在比利时、欧洲和美国设有研究设施,并在三大洲设有代表处。2024年,imec报告的收入为10.34亿欧元。
imec集团拥有全球商标组合,包括文字商标和联合图形注册及未注册商标,涵盖国家、地区和国际领域。其合法使用需事先获得imec的书面同意,并遵守imec品牌指南,该指南可能会定期更新。最新版本可通过书面请求获取。