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新闻--Ephos获得4150万欧元投资建设飞秒激光直写玻璃光波导工厂

#玻璃光波导 #飞秒激光直写玻璃光波导  #量子计算 #

意大利米兰,2025 年 7 月 25 日 – 领先的玻璃光子芯片生产商 Ephos (www.ephos.io) 今天宣布,根据 《欧盟芯片法 》,它已获得意大利企业和制造部的 4150 万欧元拨款, 用于在意大利建设新的制造工厂。该项目总投资额为 1.049 亿欧元,将建立世界上第一个在玻璃上加工先进光学材料的设施。

该设施名为 Fab-2,将使 Ephos 能够扩大其首创在玻璃基板上制造超低损耗、快速开关光子芯片的工艺的规模。这些芯片是人工智能数据中心、高性能计算 (HPC) 和量子计算机的关键构建块,满足了对先进芯片技术快速增长的需求。

“随着人工智能重塑我们的经济和地缘政治格局,先进芯片制造已成为一项重要的战略资产,”Ephos 联合创始人兼首席执行官 Andrea Rocchetto 说。“通过 Fab-2,我们正在利用欧洲杰出的工程人才来提供为 AI 基础设施提供动力的基本组件。”

Ephos 是第一家在《欧洲芯片法案》框架下获得资助的初创公司。在获得这笔极具竞争力的资金后,Ephos 加入了一些全球最大的半导体制造商:台积电、英飞凌和意法半导体。

Fab-2 的发布是在 Ephos 在米兰开设第一家研发和制造工厂 Fab-1 仅 10 个月后发布的。Fab-1 得到了欧盟和北约的支持,使 Ephos 能够为客户提供来自值得信赖、安全的供应链的先进光子芯片。

Ephos 为 AI 数据中心和量子计算机设计和制造玻璃上的可编程光子芯片。玻璃可实现强大、可扩展且经济高效的超低损耗光子解决方案

#划重点 

飞秒激光直写玻璃三维光波导代工

硅光氮化硅芯片和光纤耦合

多芯光纤和波导耦合

低损耗光波导平台

更多应用

#0:10mm-10mmsto衬底-bto薄膜(300nm厚度可定制)

#1:sto外延片

2寸 外延 sto 2-20nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)

#2:a向 bto外延片

2寸 外延 a-向 bto(300nm或者500nm,或者定制)-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)

#3:C向 bto外延片

2寸 外延 c-向 bto(150nm或者300nm,或者定制)-sto 8nm(可定制)- 2um Sio2(可定制) -Si(可定制)

#离子注入铒代工

#6寸DUV步进式光刻代工,最小线宽180nm,超高性价比,可以只曝光

#快速氮化硅硅光铌酸锂流片 #高性价比 #低成本

#提供8寸 8umSiO2热氧片,6寸15um热氧片 10um热氧片 8寸10um热氧片

室温低损伤@GCIB抛光代工@束斑小(4-5mm)更均匀

#降低硬质材料化合物晶圆等绝大多数材料的表面粗糙度,比如金刚石 ,磷化铟,砷化镓,碳化硅

#提高复合衬底和镀膜膜层的器件层膜厚均匀性,

比如SOI LNOI  LTOI SICOI 等 SMARTCUT得到的薄膜 

或者镀膜所得到的膜层 ,比如镀了一层氮化硅,但是由于是cvd镀膜所得到的,表面的膜厚精度很差,粗糙度很差,可以通过粗糙度初步降低粗糙度,然后通过GCIB团簇离子束抛光来修整整面的膜厚均匀性 到0.5%以下举例:

未经过Trimming 工艺的 6寸LN/LTOI晶圆 数据:

Range:100-200A

经过Trimming 工艺的 6寸LN/LTOI晶圆 数据:

Range:60A以内

划重点--销售晶圆和加工
SOI晶圆:--220nm薄膜/ 3um厚膜-3umSIO2-675um

ALOOI晶圆;--氧化铝薄膜晶圆,键合工艺和镀膜工艺

TAOOI晶圆--氧化钽薄膜晶圆,镀膜工艺

SINOI晶圆--超低损耗氮化硅薄膜晶圆,210nm-300nm-400nm-800nm

SICOI晶圆;新型量子光学平台500nm-700nm-1um

6寸LTOI晶圆批量供应;铌酸锂的有力的竞争对手,薄膜钽酸锂晶300600

8寸LNOI晶圆;8寸LNOI助力更大规模薄膜铌酸锂产品量产

LN/LT-SOI/Si/SIN  W2W&D2W异质集成

流片: 6寸 氮化硅 铌酸锂 硅光 超高性价比流片, 1个BLOCK的价格买一整片晶圆

划重点--全国产-超高性价比-6 寸硅光-氮化硅-铌酸锂流片白皮书

我们为客户提供晶圆(硅晶圆,玻璃晶圆,SOI晶圆,GaAs,蓝宝石,碳化硅(导电,非绝缘),Ga2O3,金刚石,GaN(外延片/衬底)),镀膜(PVD,cvd,Ald,PLD)和材料(Au Cu Ag Pt Al Cr Ti Ni Sio2 Tio2 Ti3O5,Ta2O5,ZrO2,TiN,ALN,ZnO,HfO2。。更多材料),键合(石英石英键合,蓝宝石蓝宝石键合)光刻,高精度掩模版,外延,掺杂,电子束光刻等产品及加工服务(请找小编领取我们晶圆标品库存列表,为您的科学实验加速。

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关于我们:

OMeda成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。目前拥有员工15人,在微纳加工(涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合)等领域拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。

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来源:OMeda

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OMeda(上海奥麦达微)成立于2021年,由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺,项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合,键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时,我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学,激光器,光子集成电路,Micro LED,功率器件等行业。

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