作为信息系统与光子技术中的核心器件，电光调制器、光开关及其相关集成技术面临着一系列挑战，不仅有来自于电光功能材料的限制，更主要的是来自于对器件性能要求的不断提高。新型电光聚合物独具电光系数高>100 pm/V、工艺兼容性好、本征带宽大>1000GHz的显著优势，是能够应对上述挑战的稀少技术手段之一。
电光聚合物（EO Polymer）是调制器的“功能层”，其电光系数直接决定了器件能耗。为此需要了解极化温度、外加电场强度、急速冷却固化时间等必要的极化条件。但EO Polymer的极化一直被作为核心技术，严格保密。
这里，为了促进全球高速光电子的发展，我们将EO Polymer的极化过程公开，供所有研究者参考。极化过程及详细参数如下：
1. 将待极化器件放在加热台和水冷模块上后，通过显微镜观察将直流探针和器件电极连接，直探针另一端连接直流电压源 （详见图片）。
2. 通过加热台将待极化器件加热到电光聚合物的玻璃化转换温度（Tg）附近。
3. 温度稳定后，通过直流电压源施加高压到极化器件上，升压过程逐步慢慢增加，施加在聚合物上的电压所引起电场强度为70-100 V/um，具体大小视调制器结构而定。
4. 维持高压约5-10s后，将加热开关关闭、并立即通入冷却水将加热台温度急速降低至室温，最后将高压关闭完成极化。
关于我们：
OMeda成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。目前拥有员工15人，在微纳加工（涂层、光刻、蚀刻、双光子印刷、键合）等领域拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。 部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学等行业。
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室 电话：+86 188 233 40140 邮箱：jing.chen@omeda-optics.com
来源：OMeda
OMeda（上海奥麦达微）成立于2021年，由3名在微纳加工行业拥有超过7年经验的工艺，项目人员创立。在微纳加工(镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合，键合)等工艺拥有丰富的经验。 同时，我们支持4/6/8英寸晶圆的纳米加工。部分设备和工艺支持12英寸晶圆工艺。针对MEMS传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED,功率器件等行业。
