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pztoi晶圆

PZT薄膜是一种具有超强电光效应的材料，其电光系数是LiNbO3的6倍。同时，PZT还具有非线性效应、声光效应和压电效应。

如果您对PZT锆钛酸铅薄膜材料的应用及性能还没有一个很清晰的认知，我们推荐您先阅读下述论文，当您阅读完将会对他有一个清晰的了解。

200 GBd Electro-optic PLZT Modulator

High-temperature-resistant silicon-polymer hybrid modulator operating at up to 200 Gbit s−1 for energy-efficient datacentres and harsh-environment applications

Integrated electro-optic modulator on lead zirconate

Highly efficient lead zirconate titanate ring modulator

Photonic integration based on a ferroelectric thin film platform

Broadband PZT electro-optic modulator

Light Modulation in Silicon Photonics by PZT Actuated Acoustic Waves

Reversible and Tunable Second-Order Nonlinear Optical Susceptibility in PZT Thin Films for Integrated Optics

PZT_Optical_Memristors(3)

PZT photonic materials and devices platform

应用：电光调制器，光开关，光陀螺仪，声光器件，光学MEMS

晶圆尺寸：4英寸 6英寸 8英寸

PZT：300nm或其他厚度

SiO2：2μm/5μm或其他厚度

Si：525μm

加工服务：

* 提供器件刻蚀代工 * 提供极化代工或整套极化设备与工艺* 提供光电芯片设计服务

应用案例：

微环调制器（Ring Modulator)

纳米谐振腔（Nanobeam)

MZ调制器（MZ Modulator)

参考文献： 

1. APL Photonics 9, 066111 (2024)

2. Optics Letters 49(22), 6353 (2024) 

3. Communications Materials 5, 114 (2024) 

4. ACS Photonics 12(2), 1015 (2015)