氮化硅光波导

很高兴您在这个网页看到了我们的氮化硅光波导的加工服务

关于氮化硅光波导的加工,目前我们提供2种加工服务。

A.电子束光刻加工光波导

优势:可以实现100nm以内波导线宽

缺点:单次加工仅出一片,性价比低

同时我们可以加工100nm-800nm厚度的薄膜,同时可以通过LPCVD和PECVD两种方式沉积SiO2包层,后道的晶圆切割,端面抛光


B.6寸150nmDUV流片线

优势:性价比高,一次流片可以出一个晶圆

缺点:线宽目前最小仅支持150nm

目前工艺能力:成熟制程厚度200nm和400nmSi3N4薄膜厚度流片

单端光栅损耗7.5dB左右 AWG通道损耗 双端插损最小-28dB • 波导损耗估值0.2~0.5dB/cm • AWG串扰~20dB • AWG插损4db~5dB