氧化钽(Ta2O5)薄膜晶圆
上海奥麦达微提供用于氧化钽光波导和氧化钽超透镜的镀膜晶圆
用于超透镜的氧化钽薄膜晶圆的衬底为JGS1 熔融石英玻璃
用于光波导的氧化钽薄膜晶圆的衬底为热氧片，热氧片的热氧层厚度为3um，也可以提供4.7um 2um的热氧层
我们提供3种镀膜方式制备的薄膜 ，分别是电子束蒸发，磁控溅射和离子束溅射
他们对应的产出和折射率及特点如下
电子束蒸发，一炉产出5片6寸晶圆，镀膜价格最低，但是薄膜的光学吸收较大，损耗较大
磁控溅射，一炉可以产出11片8寸晶圆，镀膜价格高，薄膜的光学吸收居中，损耗居中
Ta2O5 Magenetron sputtering leybold helios 800
离子束溅射，一炉可以产出4片6寸晶圆，镀膜价格高，薄膜的质量高，光学吸收低，损耗低
